Minifabs in microelectronics: History and opportunities

A. Khisamov; Хисамов А.; A. Nazarenko; Назаренко А.

doi:10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69

Minifabs in microelectronics: History and opportunities

Authors: Khisamov A.¹, Nazarenko A.¹
Affiliations:
1. Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
Issue: No 1 (2024)
Pages: 64-69
Section: Production engineering and management
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/628884
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69
ID: 628884

Cite item

Full Text

Open Access
Restricted Access

Access granted
Restricted Access

Subscription or Fee Access

Abstract
Full Text
About the authors
References
Supplementary files
Statistics

Abstract

Recently, a number of minifab projects for microelectronic production have been created in Russia and abroad. The article considers the concept of minifabs and the prospects for
implementing projects in this area.

Keywords

minifab, microelectronic production, HALCA, Nanofab-100, Futrfab, FAB 100/150 project

Full Text

About the authors

A. Khisamov

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Author for correspondence.
Email: redactor@electronics.ru

директор по развитию техники и технологии

Russian Federation

A. Nazarenko

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Email: redactor@electronics.ru

генеральный директор

Russian Federation

References

Industries of the Future Institutes: A New Model for American Science and Technology Leadership. A report to the President of the United States of America // The President’s Council of Advisors on Science and Technology. 2021.
Study on the Electronics Ecosystem: Overview, Developments and Europe“s Position in the World // Decision. 2020.
Шиллер В., Шпак В. Независимость российской электроники от импорта – необходима и возможна // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 6.
Mini versus mega // https://www.edn.com/mini-versus-mega/.
Minifabs would suit UK, says DTI // https://www.electronicsweekly.com/news/research-news/process-rd/minifabs-would-suit-uk-says-dti-2005-05/.
Велихов Е., Валиев К., Бетелин В. 0,35-мкм КМОП-процесс в России – в 2004 году // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2004. № 3.
https://www.futrfab.com.
https://minimalfab.ru.
Хисамов А. СТО нового формата для малых полупроводниковых производств как путь конкурентоспособного развития микроэлектроники в РФ // Материалы 5-й Международной научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Международный форум «Микроэлектроника 2019». М.: ТЕХНОСФЕРА. 2019. С. 519–524.
Технологии для высокоэффективных процессов электронной литографии // https://www.osp.ru/netcat_files/18/10/05_Tehnologii_dlya_vysokoeffektivnyh_protsessov_elektronnoy_litografii.pdf.