Minifabs in microelectronics: History and opportunities

A. Khisamov; Хисамов А.; A. Nazarenko; Назаренко А.

doi:10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69

Minifabs in microelectronics: History and opportunities

Autores: Khisamov A.¹, Nazarenko A.¹
Afiliações:
1. Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
Edição: Nº 1 (2024)
Páginas: 64-69
Seção: Production engineering and management
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/628884
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69
ID: 628884

Citar

Texto integral

Acesso aberto
Acesso é fechado

Acesso está concedido
Acesso é fechado

Acesso é pago ou somente para assinantes

Resumo
Texto integral
Sobre autores
Bibliografia
Arquivos suplementares
Estatísticas

Resumo

Recently, a number of minifab projects for microelectronic production have been created in Russia and abroad. The article considers the concept of minifabs and the prospects for
implementing projects in this area.

Palavras-chave

minifab, microelectronic production, HALCA, Nanofab-100, Futrfab, FAB 100/150 project

Texto integral

Sobre autores

A. Khisamov

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Autor responsável pela correspondência
Email: redactor@electronics.ru

директор по развитию техники и технологии

Rússia

A. Nazarenko

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Email: redactor@electronics.ru

генеральный директор

Rússia

Bibliografia

Industries of the Future Institutes: A New Model for American Science and Technology Leadership. A report to the President of the United States of America // The President’s Council of Advisors on Science and Technology. 2021.
Study on the Electronics Ecosystem: Overview, Developments and Europe“s Position in the World // Decision. 2020.
Шиллер В., Шпак В. Независимость российской электроники от импорта – необходима и возможна // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 6.
Mini versus mega // https://www.edn.com/mini-versus-mega/.
Minifabs would suit UK, says DTI // https://www.electronicsweekly.com/news/research-news/process-rd/minifabs-would-suit-uk-says-dti-2005-05/.
Велихов Е., Валиев К., Бетелин В. 0,35-мкм КМОП-процесс в России – в 2004 году // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2004. № 3.
https://www.futrfab.com.
https://minimalfab.ru.
Хисамов А. СТО нового формата для малых полупроводниковых производств как путь конкурентоспособного развития микроэлектроники в РФ // Материалы 5-й Международной научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Международный форум «Микроэлектроника 2019». М.: ТЕХНОСФЕРА. 2019. С. 519–524.
Технологии для высокоэффективных процессов электронной литографии // https://www.osp.ru/netcat_files/18/10/05_Tehnologii_dlya_vysokoeffektivnyh_protsessov_elektronnoy_litografii.pdf.