Minifabs in microelectronics: History and opportunities

A. Khisamov; Хисамов А.; A. Nazarenko; Назаренко А.

doi:10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69

Минифабы в микроэлектронике: история и возможности

Авторы: Хисамов А.¹, Назаренко А.¹
Учреждения:
1. Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
Выпуск: № 1 (2024)
Страницы: 64-69
Раздел: Организация и управление производством
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/628884
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69
ID: 628884

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

В последнее время в России и за рубежом был создан ряд проектов минифабов для микроэлектронного производства. В статье рассмотрена концепция минифабов и перспективы реализации проектов в этой области.

Ключевые слова

минифаб, микроэлектронное производство, HALCA, Nanofab-100, Futrfab, проект FAB 100/150

Полный текст

Об авторах

А. Хисамов

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Автор, ответственный за переписку.
Email: redactor@electronics.ru

директор по развитию техники и технологии

Россия

А. Назаренко

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Email: redactor@electronics.ru

генеральный директор

Россия

Список литературы

Industries of the Future Institutes: A New Model for American Science and Technology Leadership. A report to the President of the United States of America // The President’s Council of Advisors on Science and Technology. 2021.
Study on the Electronics Ecosystem: Overview, Developments and Europe“s Position in the World // Decision. 2020.
Шиллер В., Шпак В. Независимость российской электроники от импорта – необходима и возможна // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 6.
Mini versus mega // https://www.edn.com/mini-versus-mega/.
Minifabs would suit UK, says DTI // https://www.electronicsweekly.com/news/research-news/process-rd/minifabs-would-suit-uk-says-dti-2005-05/.
Велихов Е., Валиев К., Бетелин В. 0,35-мкм КМОП-процесс в России – в 2004 году // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2004. № 3.
https://www.futrfab.com.
https://minimalfab.ru.
Хисамов А. СТО нового формата для малых полупроводниковых производств как путь конкурентоспособного развития микроэлектроники в РФ // Материалы 5-й Международной научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Международный форум «Микроэлектроника 2019». М.: ТЕХНОСФЕРА. 2019. С. 519–524.
Технологии для высокоэффективных процессов электронной литографии // https://www.osp.ru/netcat_files/18/10/05_Tehnologii_dlya_vysokoeffektivnyh_protsessov_elektronnoy_litografii.pdf.