Minifabs in microelectronics: History and opportunities

A. Khisamov; Хисамов А.; A. Nazarenko; Назаренко А.

doi:10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69

Minifabs in microelectronics: History and opportunities

Авторлар: Khisamov A.¹, Nazarenko A.¹
Мекемелер:
1. Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
Шығарылым: № 1 (2024)
Беттер: 64-69
Бөлім: Production engineering and management
URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/628884
DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69
ID: 628884

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Рұқсат ақылы немесе тек жазылушылар үшін

Аннотация
Толық мәтін
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

Recently, a number of minifab projects for microelectronic production have been created in Russia and abroad. The article considers the concept of minifabs and the prospects for
implementing projects in this area.

Негізгі сөздер

minifab, microelectronic production, HALCA, Nanofab-100, Futrfab, FAB 100/150 project

Толық мәтін

Авторлар туралы

A. Khisamov

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: redactor@electronics.ru

директор по развитию техники и технологии

Ресей

A. Nazarenko

Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»

Email: redactor@electronics.ru

генеральный директор

Ресей

Әдебиет тізімі

Industries of the Future Institutes: A New Model for American Science and Technology Leadership. A report to the President of the United States of America // The President’s Council of Advisors on Science and Technology. 2021.
Study on the Electronics Ecosystem: Overview, Developments and Europe“s Position in the World // Decision. 2020.
Шиллер В., Шпак В. Независимость российской электроники от импорта – необходима и возможна // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 6.
Mini versus mega // https://www.edn.com/mini-versus-mega/.
Minifabs would suit UK, says DTI // https://www.electronicsweekly.com/news/research-news/process-rd/minifabs-would-suit-uk-says-dti-2005-05/.
Велихов Е., Валиев К., Бетелин В. 0,35-мкм КМОП-процесс в России – в 2004 году // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2004. № 3.
https://www.futrfab.com.
https://minimalfab.ru.
Хисамов А. СТО нового формата для малых полупроводниковых производств как путь конкурентоспособного развития микроэлектроники в РФ // Материалы 5-й Международной научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Международный форум «Микроэлектроника 2019». М.: ТЕХНОСФЕРА. 2019. С. 519–524.
Технологии для высокоэффективных процессов электронной литографии // https://www.osp.ru/netcat_files/18/10/05_Tehnologii_dlya_vysokoeffektivnyh_protsessov_elektronnoy_litografii.pdf.