Минифабы в микроэлектронике: история и возможности
- Авторы: Хисамов А.1, Назаренко А.1
-
Учреждения:
- Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
- Выпуск: № 1 (232) (2024)
- Страницы: 64-69
- Раздел: Организация и управление производством
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/628884
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69
- ID: 628884
Цитировать
Полный текст
![Открытый доступ](https://journals.eco-vector.com/lib/pkp/templates/images/icons/text_open.png)
![Доступ закрыт](https://journals.eco-vector.com/lib/pkp/templates/images/icons/text_unlock.png)
![Доступ закрыт](https://journals.eco-vector.com/lib/pkp/templates/images/icons/text_lock.png)
Аннотация
В последнее время в России и за рубежом был создан ряд проектов минифабов для микроэлектронного производства. В статье рассмотрена концепция минифабов и перспективы реализации проектов в этой области.
Ключевые слова
Полный текст
![Доступ закрыт](https://journals.eco-vector.com/lib/pkp/templates/images/icons/text_lock.png)
Об авторах
А. Хисамов
Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
Автор, ответственный за переписку.
Email: redactor@electronics.ru
директор по развитию техники и технологии
РоссияА. Назаренко
Группа компаний «Стратегические Нанотехнологии»
Email: redactor@electronics.ru
генеральный директор
РоссияСписок литературы
- Industries of the Future Institutes: A New Model for American Science and Technology Leadership. A report to the President of the United States of America // The President’s Council of Advisors on Science and Technology. 2021.
- Study on the Electronics Ecosystem: Overview, Developments and Europe“s Position in the World // Decision. 2020.
- Шиллер В., Шпак В. Независимость российской электроники от импорта – необходима и возможна // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 6.
- Mini versus mega // https://www.edn.com/mini-versus-mega/.
- Minifabs would suit UK, says DTI // https://www.electronicsweekly.com/news/research-news/process-rd/minifabs-would-suit-uk-says-dti-2005-05/.
- Велихов Е., Валиев К., Бетелин В. 0,35-мкм КМОП-процесс в России – в 2004 году // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2004. № 3.
- https://www.futrfab.com.
- https://minimalfab.ru.
- Хисамов А. СТО нового формата для малых полупроводниковых производств как путь конкурентоспособного развития микроэлектроники в РФ // Материалы 5-й Международной научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Международный форум «Микроэлектроника 2019». М.: ТЕХНОСФЕРА. 2019. С. 519–524.
- Технологии для высокоэффективных процессов электронной литографии // https://www.osp.ru/netcat_files/18/10/05_Tehnologii_dlya_vysokoeffektivnyh_protsessov_elektronnoy_litografii.pdf.
Дополнительные файлы
![](/img/style/loading.gif)