Enviar artigo por via de e-mail The use of photolithography for the manufacture of metal components at ZPP JSC
- Autores: Pankratova E.1, Shugaepov S.1,2, Ermolaev E.1,2, Egoshin V.1,2
-
Afiliações:
- АО «ЗПП»
- ФГБОУ ВО «МарГУ»
- Edição: Nº 2 (223) (2023)
- Páginas: 68-70
- Seção: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629197
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.68.70
- ID: 629197
Citar
Texto integral
Acesso aberto
Acesso está concedido
Acesso é pago ou somente para assinantes
Resumo
The article considers the use of photolithography at Plant of Semiconductor Devices JSC (ZPP JSC) for the manufacture of various metal components. Examples of products manufactured using this technology are given.
Palavras-chave
Texto integral
Sobre autores
E. Pankratova
АО «ЗПП»
Autor responsável pela correspondência
Email: ktc121@zpp12.ru
инженер-технолог
RússiaSh. Shugaepov
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: shnshugaepov@zpp12.ru
директор по развитию; научный сотрудник
RússiaE. Ermolaev
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: ermolaev_ev@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по новым разработкам; научный сотрудник
RússiaV. Egoshin
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: vaegoshin@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по материалам; научный сотрудник
RússiaArquivos suplementares
