Отправить статью по E-mail Применение фотолитографии для изготовления металлических комплектующих в АО «ЗПП»
- Авторы: Панкратова Е.1, Шугаепов Ш.1,2, Ермолаев Е.1,2, Егошин В.1,2
-
Учреждения:
- АО «ЗПП»
- ФГБОУ ВО «МарГУ»
- Выпуск: № 2 (2023)
- Страницы: 68-70
- Раздел: Производственные технологии
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629197
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.68.70
- ID: 629197
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Рассмотрено применение фотолитографии в АО «Завод полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП») для изготовления различных металлических комплектующих. Приведены примеры изделий, изготовленных с использованием данной технологии.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Е. Панкратова
АО «ЗПП»
Автор, ответственный за переписку.
Email: ktc121@zpp12.ru
инженер-технолог
РоссияШ. Шугаепов
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: shnshugaepov@zpp12.ru
директор по развитию; научный сотрудник
РоссияЕ. Ермолаев
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: ermolaev_ev@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по новым разработкам; научный сотрудник
РоссияВ. Егошин
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: vaegoshin@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по материалам; научный сотрудник
РоссияДополнительные файлы
