Email this article The use of photolithography for the manufacture of metal components at ZPP JSC
- Authors: Pankratova E.1, Shugaepov S.1,2, Ermolaev E.1,2, Egoshin V.1,2
-
Affiliations:
- АО «ЗПП»
- ФГБОУ ВО «МарГУ»
- Issue: No 2 (223) (2023)
- Pages: 68-70
- Section: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629197
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.68.70
- ID: 629197
Cite item
Open Access
Access granted
Abstract
The article considers the use of photolithography at Plant of Semiconductor Devices JSC (ZPP JSC) for the manufacture of various metal components. Examples of products manufactured using this technology are given.
Keywords
Full Text
About the authors
E. Pankratova
АО «ЗПП»
Author for correspondence.
Email: ktc121@zpp12.ru
инженер-технолог
Russian FederationSh. Shugaepov
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: shnshugaepov@zpp12.ru
директор по развитию; научный сотрудник
Russian FederationE. Ermolaev
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: ermolaev_ev@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по новым разработкам; научный сотрудник
Russian FederationV. Egoshin
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: vaegoshin@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по материалам; научный сотрудник
Russian FederationSupplementary files
