电邮这篇文章 The use of photolithography for the manufacture of metal components at ZPP JSC
- 作者: Pankratova E.1, Shugaepov S.1,2, Ermolaev E.1,2, Egoshin V.1,2
-
隶属关系:
- АО «ЗПП»
- ФГБОУ ВО «МарГУ»
- 期: 编号 2 (223) (2023)
- 页面: 68-70
- 栏目: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629197
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.68.70
- ID: 629197
如何引用文章
开放存取
##reader.subscriptionAccessGranted##
详细
The article considers the use of photolithography at Plant of Semiconductor Devices JSC (ZPP JSC) for the manufacture of various metal components. Examples of products manufactured using this technology are given.
全文:
作者简介
E. Pankratova
АО «ЗПП»
编辑信件的主要联系方式.
Email: ktc121@zpp12.ru
инженер-технолог
俄罗斯联邦Sh. Shugaepov
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: shnshugaepov@zpp12.ru
директор по развитию; научный сотрудник
俄罗斯联邦E. Ermolaev
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: ermolaev_ev@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по новым разработкам; научный сотрудник
俄罗斯联邦V. Egoshin
АО «ЗПП»; ФГБОУ ВО «МарГУ»
Email: vaegoshin@zpp12.ru
заместитель главного конструктора по материалам; научный сотрудник
俄罗斯联邦补充文件
