Отправить статью по E-mail Электролитическое анодирование кремния, карбида и нитрида кремния для целей нанотехнологии (обзор)
- Авторы: Махаринец А., Милешко Л.1
-
Учреждения:
- НКБ «МИУС» ЮФУ
- Выпуск: № 2 (223) (2023)
- Страницы: 88-90
- Раздел: Микро- и наноструктуры
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629217
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.88.90
- ID: 629217
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Представлен анализ технологий формирования нанометровых анодных оксидных пленок (АОП) методом электролитического анодирования кремния, карбида и нитрида кремния. Приведены примеры использования таких технологий в микро- и наноэлектронике.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
А. Махаринец
Автор, ответственный за переписку.
Email: mav1creator@mail.ru
Индивидуальный предприниматель, программист
РоссияЛ. Милешко
НКБ «МИУС» ЮФУ
Email: mileshko.leon@yandex.ru
д. т. н., академик РАЕ, инженер
РоссияСписок литературы
- Милешко Л. П. Электроника анодных оксидных пленок кремния и его соединений, формируемых в легирующих электролитах: монография / 3 изд., перераб. и доп. Ростов н / Д; Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2019. 213 с.
- Милешко Л. П. Общая теория анодного окисления кремния и его соединений (аналитический обзор) // Физика и химия обработки материалов. 2021. № 4. С. 15–24.
- Бредихин И. С., Милешко Л. П., Сеченов Д. А., Харин А. Н., Чистяков Ю. Д. Диффузия фосфора в кремний из оксидной пленки, сформированной электролитическим анодированием // В сб.: Активируемые процессы технологии микроэлектроники. Межвузовский тематический научный сборник. Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова. Таганрог, 1976. С. 110–116.
- Бредихин И. С., Волкова Т. А., Милешко Л. П., Палиенко А. Н., Чистяков Ю. Д. Применение анодных окисных пленок, легированных фосфором, для изготовления МОП-транзисторов // В сб.: Активируемые процессы технологии микроэлектроники. Межвузовский тематический научный сборник. Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова. Таганрог, 1976. С. 206–209.
- Благих В. П. Распределение концентрации легирующего элемента в анодном окисле SiO2 // В сб.: Твердотельная электроника. Воронеж: ВГУ, 1973. С. 33–36.
- Милешко Л. П. Анодное электролитическое легирование термических оксидных пленок // Физика и химия обработки материалов. 2002. № 6. С. 55–59.
- Милешко Л. П., Авдеев С. П. Реанодирование анодных оксидных пленок в легирующих электролитах // Физика и химия обработки материалов. 2004. № 4. С. 61–63.
- Милешко Л. П. Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии // В сб.: Современные электрохимические технологии и оборудование. Материалы Международной научно-технической конференции. Минск, 2021. С. 293–295.
- Махаринец А. В. Анодное окисление карбида кремния в нитратно-фосфатных и нитратно-боратных электролитах на основе этиленгликоля // Естественные науки. 2014. № 3 (48). С. 119–126.
- Милешко Л. П., Варзарев Ю. Н. Анодное окисление пленок Si3N4 на кремнии в боратных и фосфатных электролитах на основе этиленгликоля // Физика и химия обработки материалов. 2002. № 3. С. 38–44.
- Махаринец А. В., Милешко Л. П., Варзарев Ю. Н. Особенности кинетики и механизмов анодирования наноструктур Si3N4–Si в легирующих электролитах // В сб.: Модернизация современной науки: новые реалии и проблемы современных исследований в России и мире. Материалы конференции, 2015. С. 45–49.
- Милешко Л. П. Применение легированных анодных оксидных пленок в технологии кремниевых приборов и интегральных микросхем // Электронная промышленность. 2004. № 4. С. 160–161.
- Милешко Л. П., Камышева А. С., Золотухина Н. А. Оценка степени обеспечения экологической безопасности технологических процессов анодного окисления алюминия и его сплавов // Экология и промышленность России. 2018. Т. 22, № 4. С. 58–59.
- Милашич В. А., Милешко Л. П. Перспективы экологической модернизации технологических процессов анодного окисления кремния и его соединений // В сб.: Инновационные материалы и технологии – 2020. Материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых. Белорусский государственный технологический университет. Минск, 2020. С. 436–439.
Дополнительные файлы
