Отправить статью по E-mail Плёнки с низкой диэлектрической проницаемостью на базе лиотропных жидких кристаллов
- Авторы: Сонин АА1
-
Учреждения:
- МГТУ «МАМИ»
- Выпуск: Том 3, № 1 (2009)
- Страницы: 185-192
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.eco-vector.com/2074-0530/article/view/70008
- DOI: https://doi.org/10.17816/2074-0530-70008
- ID: 70008
Цитировать
Полный текст
Аннотация
На примере оригинальных прекурсионных растворов ЦТАБ/ТЭОС/NaSal и ЦТАБ/ТЭОС/TCS-2 продемонстрирована возможность создания твёрдых пористых плёнок с низкой диэлектрической проницаемостью для применений в наноэлектронике. Измерены их диэлектрические проницаемости и механические модули. Показана возможность использования сверхкритического CO2 для улучшения характеристик этих плёнок.
Список литературы
- K. Maex, M.R. Baklanov, D. Shamiryan, F. Iacopi, S.H. Brongersma, Z.S. Yanovitskaya, J. Appl. Phys., 2003, 93, 8793.
- C.T. Kresge, M.E. Leonowicz, W.J. Roth, J.C. Vartulli, J.S. Beck, Nature, 1992, 359, 710.
- H. Fan, S. Reed, T. Baer, R. Schunk, G.P. Lopez, C.J. Brinker, Microporous and Mesaporous Mater., 2001, 44-45, 625.
- C.J. Brinker, J.W. Scherer, Sol-Gel Science, Academic Press, Boston, 1990.
- Yu.M. Lvov, Handbook of Surfaces and Interfaces of Materials, v. 3: Nanostructured Materials, Micelles and Colloids, ed. H.S. Nalwa, Academic Press, New York, 2001. ch. 4. p. 1.
- U. Olsson, O. Söderman, P. Guéring, J. Phys. Chem., 1986, 90, 5223.
- K. Noble, A.B. Seddon, M.L. Turner, P. Chevalier, D.L. Ou, J. Sol-Gel Sci. and Technolol., 2001, 26, 419.
- А.А.Сонин, К.-Х. Ли, М.-Г. Ким, Д.-И. Ким, М.-В. Ким, Д.-Б. Сон, М.-Х. Янг, Х.-Д. Шин, Х.-Д. Джон, С.-И. Ким, К.-П. Ю, Жидкие кристаллы и их практическое использование, 2005, в. 3-4, 36.
- A.A. Sonin, J.-B. Seon, M.-H. Yang, H.-D. Jeong, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 451, 33.
- A.A. Sonin, J.-B. Seon, M.-H. Yang, H.-J. Shin, H.-D. Jeong, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 2006, 451, 99.
- A.A. Sonin, J.-B. Seon, M.-H. Yang, H.-J. Shin, H.-D. Jeong, S.-Y. Kim, K.-P. Yoo, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 2006, 460, 75.
- А.А.Сонин, Д.-Б. Сон, М.-Х. Янг, Х.-Д. Шин, Х.-Д. Джон, С.-И. Ким, К.-П. Ю, Жидкие кристаллы и их практическое использование, 2007, в. 2, 74.
- W.-J. Kim, S.-M. Yang, Langmuir, 2000, 16, 4761.
- W.-J. Kim, S.-M. Yang Kim, Adv. Mater, 2001, 13, 1191.
- Chen Z.-R., Kornfield J.A., Smith S.D., J.T. Grothaus, M.M. Satkowski, Science, 1997, 277,1248.
- S.H. Tolbert, A. Firouzi, G.D. Stucky, B.F. Chmelka, Science, 1997, 278, 264.
- A. Firouzi, D.J. Schaefer, S.H. Tolbert, G.D. Stucky, B.F. Chmelka, J. Amer. Chem. Soc., 1997, 119, 9466.
- T. Thurn-Albrecht, J. DeRouchey, T.P. Russell, H.M. Jaeger, Macromolecules, 2000, 33, 3250.
- T. Thurn-Albrecht, J. Schotter, G.A. Kästle, N. Emley, T. Shibauchi, L. Krusin-Elbaum, K. Gaurini, C.T. Black, M.T. Tuominen, T.P. Russell, Science, 2000, 290, 2126.
- A.A. Sonin, M.-G.. Kim, K.-H. Lee, J.-Y. Kim, H.-D. Jeong, M.-W. Kim, Mol. Cryst. Liquid Cryst., 2006, 452, 25.
Дополнительные файлы
