Отправить статью по E-mail Оценка стабильности и воспроизводимости технологического процесса металлизации через свободную маску
- Авторы: Почтарь О.1, Почтарь А.1
-
Учреждения:
- АО «УПКБ «Деталь»
- Выпуск: № 2 (2023)
- Страницы: 72-76
- Раздел: Производственные технологии
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629202
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.72.76
- ID: 629202
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
В статье на основе статистической обработки экспериментальных данных представлена оценка стабильности и воспроизводимости технологического процесса двухслойной металлизации кристаллов ниобата лития через свободную металлическую маску методом электронно-лучевого
испарения.
Полный текст
Об авторах
О. Почтарь
АО «УПКБ «Деталь»
Автор, ответственный за переписку.
Email: oleg_p20@mail.ru
инженер-технолог 3 категории – руководитель группы
РоссияА. Почтарь
АО «УПКБ «Деталь»
Email: ananpochtar@gmail.com
начальник сектора
РоссияСписок литературы
- Иванов А., Смирнов Б. Электронно-лучевое напыление: технология и оборудование // НАНОИНДУСТРИЯ. 2012. № 6 (36). С. 28–34.
- Локтев Д. А. Статистическое управление производственными процессами – ключ к успеху современного промышленного предприятия // Известия МГТУ «МАМИ». 2014. № 1(19), т. 2. С. 128–136.
- Уилер Д., Чамберс Д. Статистическое управление процессами. Оптимизация бизнеса с использованием контрольных карт Шухарта / Пер. с англ., 2-е изд. М.: Альпина Паблишер, 2016. 582 с.
- ГОСТ Р ИСО 7870-2-2015. Статистические методы. Контрольные карты Шухарта. Ч. 2. М., 2015. 46 с.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 1. Торцевая поверхность кристалла со сформированной топологией металлизации
Скачать (10KB)
3.
Рис. 2. Схема процесса металлизации кристалла через свободную маску (без соблюдения масштаба)
Скачать (16KB)
4.
Рис. 3. Контрольная карта Шухарта с обозначенными контрольными пределами для величины подпыления на одну сторону зазора: А – границы ±3σ; B – границы ±2σ; C – границы ±σ; МО – математическое ожидание
Скачать (25KB)
5.
Рис. 4. Контрольная карта Шухарта с обозначенными контрольными пределами для модуля скользящего размаха величины подпыления на одну сторону зазора: А – границы ±3σ; B – границы ±2σ; C – границы ±σ; МО – математическое ожидание
Скачать (25KB)
6.
Рис. 5. Контрольные карты Шухарта для индивидуальных значений ширины зазора с обозначенными контрольными пределами: UNPLx – верхняя контрольная граница; CLx – центральная линия (математическое ожидание); LNPLx – нижняя контрольная граница
Скачать (28KB)
