Reverse growth of pyrolytic ZnO films

Capa

Citar

Texto integral

Acesso aberto Acesso aberto
Acesso é fechado Acesso está concedido
Acesso é fechado Acesso é pago ou somente para assinantes

Resumo

One of the widely used methods for synthesizing zinc oxide is spray pyrolysis, which is characterized by low cost, relative simplicity and high process speed. The article studies the phenomena in the process of ZnO film growth during synthesis by the method of pneumatic spray pyrolysis from a zinc acetate solution.

Texto integral

Acesso é fechado

Sobre autores

D. Permyakov

Воронежский государственный технический университет

Autor responsável pela correspondência
Email: Dima.P.S@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

Rússia

A. Strogonov

Воронежский государственный технический университет

Email: andreistrogonov@mail.ru

д.т.н., профессор кафедры твердотельной электроники

Rússia

V. Nebolsin

Воронежский государственный технический университет

Email: vcmsao13@mail.ru

д.т.н., профессор, заведующий кафедрой твердотельной электроники

Rússia

M. Belykh

Воронежский государственный технический университет

Email: belykh.maks@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

Rússia

Bibliografia

  1. Hernández Battez A., González R., Viesca J.L., Fernández J.E., Díaz Fernández J.M. et al. CuO, ZrO2 and ZnO nanoparticles as antiwear additive in oil lubricants // An International Journal on the Science and Technology of Friction, Lubrication and Wear. 2008. Vol. 265. No. 3–4. PP. 422–428.
  2. Fierro J.L.G. Metal Oxides: Chemistry & Applications // CRC Press. 2006. P. 182.
  3. Özgür Ü., Alivov Ya., Liu I. A comprehensive review of ZnO materials and devices // Journal of Applied Physics. 2005. Vol. 98. No 4. PP. 1–104.
  4. Дурман Е.А., Ветошкин В.М., Закирова Р.М. и др. Текстурированные пленки ZnO, полученные методом ВЧ магнетронного напыления // Удмуртский государственный университет, г. Ижевск. 2014. Т. 14. № 3. С. 43–46.
  5. Gupta V., Sreenivas K. Pulsed Laser Deposition of Zinc Oxide (ZnO) // Thin Films and Nanostructures. 2006. PP. 85–174.
  6. Muller R., Huber F., Gelme O. Chemical Vapor Deposition Growth of Zinc Oxide on Sapphire with Methane: Initial Crystal Formation Process // American Chemical Society 2019, 19, 9, 4964–4969, https://doi.org/10.1021/acs.cgd.9b00181.
  7. Nilam B.P., Amol R.N., Maruti G.P. ZnO thin film prepared by a sol-gel spin coating technique for NO2 detection // Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 227. PP. 53–60.
  8. Полковников В.Е., Пермяков Д.С., Белых М.А., Юлчиев Ш.Х., Рембеза С.И. Изготовление фотоэлектрических преобразователей энергии // Вестник Воронежского государственного технического университета 2019. Т. 15. № 5. С. 72–77.
  9. Пермяков Д.С., Строгонов А.В., Левченко А.А. Разработка автоматизированной установки получения тонких прозрачных металлоксидных пленок методом спрей-пиролиза // Микроэлектроника и наноэлектроника: актуальные проблемы, ВГТУ, Воронеж. 2021. С. 125–127.

Arquivos suplementares

Arquivos suplementares
Ação
1. JATS XML
Baixar
2. Fig. 1. X-ray diffraction pattern of ZnO film

Baixar (11KB)
Metadados
3. Fig. 2. Film thickness dependence on spraying time

Baixar (14KB)
Metadados
4. Fig. 3. Ideal process of ZnO film synthesis

Baixar (718KB)
Metadados
5. Fig. 4. Interaction of aerosol with contaminants on the film surface

Baixar (137KB)
Metadados
6. Fig. 5. Dependence of ln(d/d0) on the deposition time

Baixar (10KB)
Metadados

Declaração de direitos autorais © Permyakov D., Strogonov A., Nebolsin V., Belykh M., 2024