Отправить статью по E-mail Реверсивный рост пиролитических пленок ZnO
- Авторы: Пермяков Д.1, Строгонов А.1, Небольсин В.1, Белыx М.1
-
Учреждения:
- Воронежский государственный технический университет
- Выпуск: № 8 (2024)
- Страницы: 108-111
- Раздел: Микро- и наноструктуры
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/637276
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.239.8.108.111
- ID: 637276
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Одним из широко используемых методов синтеза оксида цинка является спрей-пиролиз, который отличается низкой стоимостью, относительной простотой и высокой скоростью процесса. Статья посвящена исследованию явлений в процессе роста пленки ZnO при синтезе методом пневматического спрей-пиролиза из раствора ацетата цинка.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
Д. Пермяков
Воронежский государственный технический университет
Автор, ответственный за переписку.
Email: Dima.P.S@yandex.ru
аспирант кафедры твердотельной электроники
РоссияА. Строгонов
Воронежский государственный технический университет
Email: andreistrogonov@mail.ru
д.т.н., профессор кафедры твердотельной электроники
РоссияВ. Небольсин
Воронежский государственный технический университет
Email: vcmsao13@mail.ru
д.т.н., профессор, заведующий кафедрой твердотельной электроники
РоссияМ. Белыx
Воронежский государственный технический университет
Email: belykh.maks@yandex.ru
аспирант кафедры твердотельной электроники
РоссияСписок литературы
- Hernández Battez A., González R., Viesca J.L., Fernández J.E., Díaz Fernández J.M. et al. CuO, ZrO2 and ZnO nanoparticles as antiwear additive in oil lubricants // An International Journal on the Science and Technology of Friction, Lubrication and Wear. 2008. Vol. 265. No. 3–4. PP. 422–428.
- Fierro J.L.G. Metal Oxides: Chemistry & Applications // CRC Press. 2006. P. 182.
- Özgür Ü., Alivov Ya., Liu I. A comprehensive review of ZnO materials and devices // Journal of Applied Physics. 2005. Vol. 98. No 4. PP. 1–104.
- Дурман Е.А., Ветошкин В.М., Закирова Р.М. и др. Текстурированные пленки ZnO, полученные методом ВЧ магнетронного напыления // Удмуртский государственный университет, г. Ижевск. 2014. Т. 14. № 3. С. 43–46.
- Gupta V., Sreenivas K. Pulsed Laser Deposition of Zinc Oxide (ZnO) // Thin Films and Nanostructures. 2006. PP. 85–174.
- Muller R., Huber F., Gelme O. Chemical Vapor Deposition Growth of Zinc Oxide on Sapphire with Methane: Initial Crystal Formation Process // American Chemical Society 2019, 19, 9, 4964–4969, https://doi.org/10.1021/acs.cgd.9b00181.
- Nilam B.P., Amol R.N., Maruti G.P. ZnO thin film prepared by a sol-gel spin coating technique for NO2 detection // Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 227. PP. 53–60.
- Полковников В.Е., Пермяков Д.С., Белых М.А., Юлчиев Ш.Х., Рембеза С.И. Изготовление фотоэлектрических преобразователей энергии // Вестник Воронежского государственного технического университета 2019. Т. 15. № 5. С. 72–77.
- Пермяков Д.С., Строгонов А.В., Левченко А.А. Разработка автоматизированной установки получения тонких прозрачных металлоксидных пленок методом спрей-пиролиза // Микроэлектроника и наноэлектроника: актуальные проблемы, ВГТУ, Воронеж. 2021. С. 125–127.
Дополнительные файлы
