Reverse growth of pyrolytic ZnO films

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Рұқсат ақылы немесе тек жазылушылар үшін

Аннотация

One of the widely used methods for synthesizing zinc oxide is spray pyrolysis, which is characterized by low cost, relative simplicity and high process speed. The article studies the phenomena in the process of ZnO film growth during synthesis by the method of pneumatic spray pyrolysis from a zinc acetate solution.

Толық мәтін

Рұқсат жабық

Авторлар туралы

D. Permyakov

Воронежский государственный технический университет

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: Dima.P.S@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

Ресей

A. Strogonov

Воронежский государственный технический университет

Email: andreistrogonov@mail.ru

д.т.н., профессор кафедры твердотельной электроники

Ресей

V. Nebolsin

Воронежский государственный технический университет

Email: vcmsao13@mail.ru

д.т.н., профессор, заведующий кафедрой твердотельной электроники

Ресей

M. Belykh

Воронежский государственный технический университет

Email: belykh.maks@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

Ресей

Әдебиет тізімі

  1. Hernández Battez A., González R., Viesca J.L., Fernández J.E., Díaz Fernández J.M. et al. CuO, ZrO2 and ZnO nanoparticles as antiwear additive in oil lubricants // An International Journal on the Science and Technology of Friction, Lubrication and Wear. 2008. Vol. 265. No. 3–4. PP. 422–428.
  2. Fierro J.L.G. Metal Oxides: Chemistry & Applications // CRC Press. 2006. P. 182.
  3. Özgür Ü., Alivov Ya., Liu I. A comprehensive review of ZnO materials and devices // Journal of Applied Physics. 2005. Vol. 98. No 4. PP. 1–104.
  4. Дурман Е.А., Ветошкин В.М., Закирова Р.М. и др. Текстурированные пленки ZnO, полученные методом ВЧ магнетронного напыления // Удмуртский государственный университет, г. Ижевск. 2014. Т. 14. № 3. С. 43–46.
  5. Gupta V., Sreenivas K. Pulsed Laser Deposition of Zinc Oxide (ZnO) // Thin Films and Nanostructures. 2006. PP. 85–174.
  6. Muller R., Huber F., Gelme O. Chemical Vapor Deposition Growth of Zinc Oxide on Sapphire with Methane: Initial Crystal Formation Process // American Chemical Society 2019, 19, 9, 4964–4969, https://doi.org/10.1021/acs.cgd.9b00181.
  7. Nilam B.P., Amol R.N., Maruti G.P. ZnO thin film prepared by a sol-gel spin coating technique for NO2 detection // Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 227. PP. 53–60.
  8. Полковников В.Е., Пермяков Д.С., Белых М.А., Юлчиев Ш.Х., Рембеза С.И. Изготовление фотоэлектрических преобразователей энергии // Вестник Воронежского государственного технического университета 2019. Т. 15. № 5. С. 72–77.
  9. Пермяков Д.С., Строгонов А.В., Левченко А.А. Разработка автоматизированной установки получения тонких прозрачных металлоксидных пленок методом спрей-пиролиза // Микроэлектроника и наноэлектроника: актуальные проблемы, ВГТУ, Воронеж. 2021. С. 125–127.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу
2. Fig. 1. X-ray diffraction pattern of ZnO film

Жүктеу (11KB)
Метадеректер
3. Fig. 2. Film thickness dependence on spraying time

Жүктеу (14KB)
Метадеректер
4. Fig. 3. Ideal process of ZnO film synthesis

Жүктеу (718KB)
Метадеректер
5. Fig. 4. Interaction of aerosol with contaminants on the film surface

Жүктеу (137KB)
Метадеректер
6. Fig. 5. Dependence of ln(d/d0) on the deposition time

Жүктеу (10KB)
Метадеректер

© Permyakov D., Strogonov A., Nebolsin V., Belykh M., 2024