Reverse growth of pyrolytic ZnO films

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅或者付费存取

详细

One of the widely used methods for synthesizing zinc oxide is spray pyrolysis, which is characterized by low cost, relative simplicity and high process speed. The article studies the phenomena in the process of ZnO film growth during synthesis by the method of pneumatic spray pyrolysis from a zinc acetate solution.

全文:

受限制的访问

作者简介

D. Permyakov

Воронежский государственный технический университет

编辑信件的主要联系方式.
Email: Dima.P.S@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

俄罗斯联邦

A. Strogonov

Воронежский государственный технический университет

Email: andreistrogonov@mail.ru

д.т.н., профессор кафедры твердотельной электроники

俄罗斯联邦

V. Nebolsin

Воронежский государственный технический университет

Email: vcmsao13@mail.ru

д.т.н., профессор, заведующий кафедрой твердотельной электроники

俄罗斯联邦

M. Belykh

Воронежский государственный технический университет

Email: belykh.maks@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

俄罗斯联邦

参考

  1. Hernández Battez A., González R., Viesca J.L., Fernández J.E., Díaz Fernández J.M. et al. CuO, ZrO2 and ZnO nanoparticles as antiwear additive in oil lubricants // An International Journal on the Science and Technology of Friction, Lubrication and Wear. 2008. Vol. 265. No. 3–4. PP. 422–428.
  2. Fierro J.L.G. Metal Oxides: Chemistry & Applications // CRC Press. 2006. P. 182.
  3. Özgür Ü., Alivov Ya., Liu I. A comprehensive review of ZnO materials and devices // Journal of Applied Physics. 2005. Vol. 98. No 4. PP. 1–104.
  4. Дурман Е.А., Ветошкин В.М., Закирова Р.М. и др. Текстурированные пленки ZnO, полученные методом ВЧ магнетронного напыления // Удмуртский государственный университет, г. Ижевск. 2014. Т. 14. № 3. С. 43–46.
  5. Gupta V., Sreenivas K. Pulsed Laser Deposition of Zinc Oxide (ZnO) // Thin Films and Nanostructures. 2006. PP. 85–174.
  6. Muller R., Huber F., Gelme O. Chemical Vapor Deposition Growth of Zinc Oxide on Sapphire with Methane: Initial Crystal Formation Process // American Chemical Society 2019, 19, 9, 4964–4969, https://doi.org/10.1021/acs.cgd.9b00181.
  7. Nilam B.P., Amol R.N., Maruti G.P. ZnO thin film prepared by a sol-gel spin coating technique for NO2 detection // Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 227. PP. 53–60.
  8. Полковников В.Е., Пермяков Д.С., Белых М.А., Юлчиев Ш.Х., Рембеза С.И. Изготовление фотоэлектрических преобразователей энергии // Вестник Воронежского государственного технического университета 2019. Т. 15. № 5. С. 72–77.
  9. Пермяков Д.С., Строгонов А.В., Левченко А.А. Разработка автоматизированной установки получения тонких прозрачных металлоксидных пленок методом спрей-пиролиза // Микроэлектроника и наноэлектроника: актуальные проблемы, ВГТУ, Воронеж. 2021. С. 125–127.

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载
2. Fig. 1. X-ray diffraction pattern of ZnO film

下载 (11KB)
索引源数据
3. Fig. 2. Film thickness dependence on spraying time

下载 (14KB)
索引源数据
4. Fig. 3. Ideal process of ZnO film synthesis

下载 (718KB)
索引源数据
5. Fig. 4. Interaction of aerosol with contaminants on the film surface

下载 (137KB)
索引源数据
6. Fig. 5. Dependence of ln(d/d0) on the deposition time

下载 (10KB)
索引源数据

版权所有 © Permyakov D., Strogonov A., Nebolsin V., Belykh M., 2024