Reverse growth of pyrolytic ZnO films

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription or Fee Access

Abstract

One of the widely used methods for synthesizing zinc oxide is spray pyrolysis, which is characterized by low cost, relative simplicity and high process speed. The article studies the phenomena in the process of ZnO film growth during synthesis by the method of pneumatic spray pyrolysis from a zinc acetate solution.

Full Text

Restricted Access

About the authors

D. Permyakov

Воронежский государственный технический университет

Author for correspondence.
Email: Dima.P.S@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

Russian Federation

A. Strogonov

Воронежский государственный технический университет

Email: andreistrogonov@mail.ru

д.т.н., профессор кафедры твердотельной электроники

Russian Federation

V. Nebolsin

Воронежский государственный технический университет

Email: vcmsao13@mail.ru

д.т.н., профессор, заведующий кафедрой твердотельной электроники

Russian Federation

M. Belykh

Воронежский государственный технический университет

Email: belykh.maks@yandex.ru

аспирант кафедры твердотельной электроники

Russian Federation

References

  1. Hernández Battez A., González R., Viesca J.L., Fernández J.E., Díaz Fernández J.M. et al. CuO, ZrO2 and ZnO nanoparticles as antiwear additive in oil lubricants // An International Journal on the Science and Technology of Friction, Lubrication and Wear. 2008. Vol. 265. No. 3–4. PP. 422–428.
  2. Fierro J.L.G. Metal Oxides: Chemistry & Applications // CRC Press. 2006. P. 182.
  3. Özgür Ü., Alivov Ya., Liu I. A comprehensive review of ZnO materials and devices // Journal of Applied Physics. 2005. Vol. 98. No 4. PP. 1–104.
  4. Дурман Е.А., Ветошкин В.М., Закирова Р.М. и др. Текстурированные пленки ZnO, полученные методом ВЧ магнетронного напыления // Удмуртский государственный университет, г. Ижевск. 2014. Т. 14. № 3. С. 43–46.
  5. Gupta V., Sreenivas K. Pulsed Laser Deposition of Zinc Oxide (ZnO) // Thin Films and Nanostructures. 2006. PP. 85–174.
  6. Muller R., Huber F., Gelme O. Chemical Vapor Deposition Growth of Zinc Oxide on Sapphire with Methane: Initial Crystal Formation Process // American Chemical Society 2019, 19, 9, 4964–4969, https://doi.org/10.1021/acs.cgd.9b00181.
  7. Nilam B.P., Amol R.N., Maruti G.P. ZnO thin film prepared by a sol-gel spin coating technique for NO2 detection // Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 227. PP. 53–60.
  8. Полковников В.Е., Пермяков Д.С., Белых М.А., Юлчиев Ш.Х., Рембеза С.И. Изготовление фотоэлектрических преобразователей энергии // Вестник Воронежского государственного технического университета 2019. Т. 15. № 5. С. 72–77.
  9. Пермяков Д.С., Строгонов А.В., Левченко А.А. Разработка автоматизированной установки получения тонких прозрачных металлоксидных пленок методом спрей-пиролиза // Микроэлектроника и наноэлектроника: актуальные проблемы, ВГТУ, Воронеж. 2021. С. 125–127.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download
2. Fig. 1. X-ray diffraction pattern of ZnO film

Download (11KB)
Indexing metadata
3. Fig. 2. Film thickness dependence on spraying time

Download (14KB)
Indexing metadata
4. Fig. 3. Ideal process of ZnO film synthesis

Download (718KB)
Indexing metadata
5. Fig. 4. Interaction of aerosol with contaminants on the film surface

Download (137KB)
Indexing metadata
6. Fig. 5. Dependence of ln(d/d0) on the deposition time

Download (10KB)
Indexing metadata

Copyright (c) 2024 Permyakov D., Strogonov A., Nebolsin V., Belykh M.