Microbolometers vacuum packaging

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Рұқсат ақылы немесе тек жазылушылар үшін

Аннотация

The article describes the development of the microbolometer packaging technology. Packaging is carried out at high vacuum using a getter, which ensures that the specified vacuum level is maintained inside the package of micromechanical device during the period of storage and operation.

Толық мәтін

Рұқсат жабық

Авторлар туралы

A. Vidritsky

ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: AVidritskiy@integral.by

ведущий инженер

Белоруссия

V. Lanin

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

Email: Vlanin@bsuir.by

д. т. н., профессор

Белоруссия

Әдебиет тізімі

  1. Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
  2. Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
  3. Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу
2. Fig.1. Thermal imager device

Жүктеу (16KB)
Метадеректер
3. Fig.2. Microbolometer housings with an evacuation tube (a) and without it (b)

Жүктеу (20KB)
Метадеректер
4. Fig.3. Transmission spectrum of monocrystalline silicon

Жүктеу (13KB)
Метадеректер
5. Fig.4. Transmission spectrum of single-crystal germanium

Жүктеу (9KB)
Метадеректер
6. Fig.5. Some components for the manufacture of a microbolometer: a – base of the housing; b – preform for sealing made of 80In15Pb5Ag material; c – germanium window

Жүктеу (15KB)
Метадеректер
7. Fig.6. SST International Model 3150 High Vacuum Sealing Oven

Жүктеу (15KB)
Метадеректер
8. Fig.7. Technological equipment for sealing microbolometers in a vacuum: a – equipment for loading germanium glasses; b – equipment for loading housing bases

Жүктеу (38KB)
Метадеректер
9. Fig.8. Temperature profile of sealing

Жүктеу (18KB)
Метадеректер
10. Fig.9. Sealed microbolometer housing: a – view of the window; b – the result of ultrasonic testing of the soldered seam “glass - rim of the base of the case”

Жүктеу (11KB)
Метадеректер

© Vidritsky A., Lanin V., 2023