Email this article Microbolometers vacuum packaging
- Authors: Vidritsky A.1, Lanin V.2
-
Affiliations:
- ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
- Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
- Issue: No 2 (2023)
- Pages: 60-66
- Section: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629195
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66
- ID: 629195
Cite item
Open Access
Access granted
Abstract
The article describes the development of the microbolometer packaging technology. Packaging is carried out at high vacuum using a getter, which ensures that the specified vacuum level is maintained inside the package of micromechanical device during the period of storage and operation.
Full Text
About the authors
A. Vidritsky
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Author for correspondence.
Email: AVidritskiy@integral.by
ведущий инженер
BelarusV. Lanin
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Email: Vlanin@bsuir.by
д. т. н., профессор
BelarusReferences
- Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
- Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
- Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.
Supplementary files
Supplementary Files
Action
1.
JATS XML
2.
Fig.1. Thermal imager device
Download (16KB)
3.
Fig.2. Microbolometer housings with an evacuation tube (a) and without it (b)
Download (20KB)
4.
Fig.3. Transmission spectrum of monocrystalline silicon
Download (13KB)
5.
Fig.4. Transmission spectrum of single-crystal germanium
Download (9KB)
6.
Fig.5. Some components for the manufacture of a microbolometer: a – base of the housing; b – preform for sealing made of 80In15Pb5Ag material; c – germanium window
Download (15KB)
7.
Fig.6. SST International Model 3150 High Vacuum Sealing Oven
Download (15KB)
8.
Fig.7. Technological equipment for sealing microbolometers in a vacuum: a – equipment for loading germanium glasses; b – equipment for loading housing bases
Download (38KB)
9.
Fig.8. Temperature profile of sealing
Download (18KB)
10.
Fig.9. Sealed microbolometer housing: a – view of the window; b – the result of ultrasonic testing of the soldered seam “glass - rim of the base of the case”
Download (11KB)
