Вакуумплотная герметизация микроболометров

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

В статье описана разработка технологии герметизации корпусов микроболометров. Герметизация производится в высоком вакууме с использованием геттера, чем обеспечивается сохранение заданного уровня вакуума внутри корпуса микромеханического прибора в течение срока хранения и эксплуатации.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

А. Видрицкий

ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»

Автор, ответственный за переписку.
Email: AVidritskiy@integral.by

ведущий инженер

Белоруссия

В. Ланин

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

Email: Vlanin@bsuir.by

д. т. н., профессор

Белоруссия

Список литературы

  1. Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
  2. Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
  3. Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Устройство тепловизора

Скачать (16KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Корпуса микроболометра с откачной трубкой (а) и без нее (б)

Скачать (20KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Спектр пропускания монокристаллического кремния

Скачать (13KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Спектр пропускания монокристаллического германия

Скачать (9KB)
Метаданные
6. Рис. 5. Некоторые комплектующие для изготовления микроболометра: а – основание корпуса; б – преформа для герметизации из материала 80In15Pb5Ag; в – германиевое окно

Скачать (15KB)
Метаданные
7. Рис. 6. Высоковакуумная печь герметизации модели 3150 SST International

Скачать (15KB)
Метаданные
8. Рис. 7. Технологическая оснастка для герметизации микроболометров в вакууме: а – оснастка для загрузки германиевых стекол; б – оснастка для загрузки оснований корпусов

Скачать (38KB)
Метаданные
9. Рис. 8. Температурный профиль герметизации

Скачать (18KB)
Метаданные
10. Рис. 9. Загерметизированный корпус микроболометра: а – вид на окно; б – результат ультразвукового контроля паяного шва «стекло – ободок основания корпуса»

Скачать (11KB)
Метаданные

© Видрицкий А., Ланин В., 2023