Enviar artigo por via de e-mail Microbolometers vacuum packaging
- Autores: Vidritsky A.1, Lanin V.2
-
Afiliações:
- ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
- Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
- Edição: Nº 2 (2023)
- Páginas: 60-66
- Seção: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629195
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66
- ID: 629195
Citar
Texto integral
Acesso aberto
Acesso está concedido
Acesso é pago ou somente para assinantes
Resumo
The article describes the development of the microbolometer packaging technology. Packaging is carried out at high vacuum using a getter, which ensures that the specified vacuum level is maintained inside the package of micromechanical device during the period of storage and operation.
Palavras-chave
Texto integral
Sobre autores
A. Vidritsky
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Autor responsável pela correspondência
Email: AVidritskiy@integral.by
ведущий инженер
BelarusV. Lanin
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Email: Vlanin@bsuir.by
д. т. н., профессор
BelarusBibliografia
- Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
- Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
- Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.
Arquivos suplementares
Arquivos suplementares
Ação
1.
JATS XML
2.
Fig.1. Thermal imager device
Baixar (16KB)
3.
Fig.2. Microbolometer housings with an evacuation tube (a) and without it (b)
Baixar (20KB)
4.
Fig.3. Transmission spectrum of monocrystalline silicon
Baixar (13KB)
5.
Fig.4. Transmission spectrum of single-crystal germanium
Baixar (9KB)
6.
Fig.5. Some components for the manufacture of a microbolometer: a – base of the housing; b – preform for sealing made of 80In15Pb5Ag material; c – germanium window
Baixar (15KB)
7.
Fig.6. SST International Model 3150 High Vacuum Sealing Oven
Baixar (15KB)
8.
Fig.7. Technological equipment for sealing microbolometers in a vacuum: a – equipment for loading germanium glasses; b – equipment for loading housing bases
Baixar (38KB)
9.
Fig.8. Temperature profile of sealing
Baixar (18KB)
10.
Fig.9. Sealed microbolometer housing: a – view of the window; b – the result of ultrasonic testing of the soldered seam “glass - rim of the base of the case”
Baixar (11KB)
