Microbolometers vacuum packaging
- Authors: Vidritsky A.1, Lanin V.2
-
Affiliations:
- ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
- Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
- Issue: No 2 (223) (2023)
- Pages: 60-66
- Section: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629195
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66
- ID: 629195
Cite item
Abstract
The article describes the development of the microbolometer packaging technology. Packaging is carried out at high vacuum using a getter, which ensures that the specified vacuum level is maintained inside the package of micromechanical device during the period of storage and operation.
Full Text
![Restricted Access](https://journals.eco-vector.com/lib/pkp/templates/images/icons/text_lock.png)
About the authors
A. Vidritsky
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Author for correspondence.
Email: AVidritskiy@integral.by
ведущий инженер
BelarusV. Lanin
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Email: Vlanin@bsuir.by
д. т. н., профессор
BelarusReferences
- Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
- Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
- Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.
Supplementary files
Supplementary Files
Action
1.
JATS XML
Download (16KB)
Download (20KB)
Download (13KB)
Download (9KB)
6.
Fig.5. Some components for the manufacture of a microbolometer: a – base of the housing; b – preform for sealing made of 80In15Pb5Ag material; c – germanium window
Download (15KB)
Download (15KB)
8.
Fig.7. Technological equipment for sealing microbolometers in a vacuum: a – equipment for loading germanium glasses; b – equipment for loading housing bases
Download (38KB)
Download (18KB)
10.
Fig.9. Sealed microbolometer housing: a – view of the window; b – the result of ultrasonic testing of the soldered seam “glass - rim of the base of the case”
Download (11KB)
![](/img/style/loading.gif)