电邮这篇文章 Microbolometers vacuum packaging
- 作者: Vidritsky A.1, Lanin V.2
-
隶属关系:
- ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
- Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
- 期: 编号 2 (223) (2023)
- 页面: 60-66
- 栏目: Manufacturing technologies
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629195
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66
- ID: 629195
如何引用文章
开放存取
##reader.subscriptionAccessGranted##
详细
The article describes the development of the microbolometer packaging technology. Packaging is carried out at high vacuum using a getter, which ensures that the specified vacuum level is maintained inside the package of micromechanical device during the period of storage and operation.
全文:
作者简介
A. Vidritsky
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
编辑信件的主要联系方式.
Email: AVidritskiy@integral.by
ведущий инженер
白俄罗斯V. Lanin
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Email: Vlanin@bsuir.by
д. т. н., профессор
白俄罗斯参考
- Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
- Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
- Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.
补充文件
附件文件
动作
1.
JATS XML
2.
Fig.1. Thermal imager device
下载 (16KB)
3.
Fig.2. Microbolometer housings with an evacuation tube (a) and without it (b)
下载 (20KB)
4.
Fig.3. Transmission spectrum of monocrystalline silicon
下载 (13KB)
5.
Fig.4. Transmission spectrum of single-crystal germanium
下载 (9KB)
6.
Fig.5. Some components for the manufacture of a microbolometer: a – base of the housing; b – preform for sealing made of 80In15Pb5Ag material; c – germanium window
下载 (15KB)
7.
Fig.6. SST International Model 3150 High Vacuum Sealing Oven
下载 (15KB)
8.
Fig.7. Technological equipment for sealing microbolometers in a vacuum: a – equipment for loading germanium glasses; b – equipment for loading housing bases
下载 (38KB)
9.
Fig.8. Temperature profile of sealing
下载 (18KB)
10.
Fig.9. Sealed microbolometer housing: a – view of the window; b – the result of ultrasonic testing of the soldered seam “glass - rim of the base of the case”
下载 (11KB)
