Отправить статью по E-mail Вакуумплотная герметизация микроболометров
- Авторы: Видрицкий А.1, Ланин В.2
-
Учреждения:
- ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
- Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
- Выпуск: № 2 (223) (2023)
- Страницы: 60-66
- Раздел: Производственные технологии
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/629195
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66
- ID: 629195
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
В статье описана разработка технологии герметизации корпусов микроболометров. Герметизация производится в высоком вакууме с использованием геттера, чем обеспечивается сохранение заданного уровня вакуума внутри корпуса микромеханического прибора в течение срока хранения и эксплуатации.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
А. Видрицкий
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Автор, ответственный за переписку.
Email: AVidritskiy@integral.by
ведущий инженер
БелоруссияВ. Ланин
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Email: Vlanin@bsuir.by
д. т. н., профессор
БелоруссияСписок литературы
- Скупов А. Вакуумное корпусирование на уровне пластины – геттеры // ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес. 2016. № 5. С. 54–59.
- Тимошенков С. П., Бойко А. Н, Симонов Б. М. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Изв. вузов. Электроника. 2010. № 1.C. 11–23.
- Гуртов В. А., Беляев М. А., Бакшеева А. Г. Микроэлектромеханические системы. Петрозаводск: ПетрГу, 2016. 171 с.
Дополнительные файлы
Доп. файлы
Действие
1.
JATS XML
2.
Рис. 1. Устройство тепловизора
Скачать (16KB)
3.
Рис. 2. Корпуса микроболометра с откачной трубкой (а) и без нее (б)
Скачать (20KB)
4.
Рис. 3. Спектр пропускания монокристаллического кремния
Скачать (13KB)
5.
Рис. 4. Спектр пропускания монокристаллического германия
Скачать (9KB)
6.
Рис. 5. Некоторые комплектующие для изготовления микроболометра: а – основание корпуса; б – преформа для герметизации из материала 80In15Pb5Ag; в – германиевое окно
Скачать (15KB)
7.
Рис. 6. Высоковакуумная печь герметизации модели 3150 SST International
Скачать (15KB)
8.
Рис. 7. Технологическая оснастка для герметизации микроболометров в вакууме: а – оснастка для загрузки германиевых стекол; б – оснастка для загрузки оснований корпусов
Скачать (38KB)
9.
Рис. 8. Температурный профиль герметизации
Скачать (18KB)
10.
Рис. 9. Загерметизированный корпус микроболометра: а – вид на окно; б – результат ультразвукового контроля паяного шва «стекло – ободок основания корпуса»
Скачать (11KB)
