Deep ultraviolet microscopy: principles and prospects of application in industry and science

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Рұқсат ақылы немесе тек жазылушылар үшін

Аннотация

The article reviews the physical foundations and practice of application of DUV-microscopy. The development of laser technologies and the emergence of new sensors, modern optical materials opens the way to its widespread implementation in microelectronics, biomedicine and materials science.

Толық мәтін

Рұқсат жабық

Авторлар туралы

V. Plebanovich

ОАО «Планар»

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: vpleba@planar.by

к.т.н.

Белоруссия, г. Минск

V. Grishkevich

ОАО «Оптоэлектронные системы»

Email: marketing@optes.by
Белоруссия, г. Минск

Әдебиет тізімі

  1. https://ru.wikipedia.org/wiki/
  2. Smith A. (2023). DUV Microscopy for Semiconductor Inspection // Nature Photonics.
  3. ZEISS Academy Microscopy, https://www.zeiss.com/
  4. Zhang L. (2022). Deep UV Imaging of Biomolecules Without Labeling // Science Advances.
  5. ОАО «Оптоэлектронные системы», https://www.optes.by/

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу
2. Fig. 1. Optical range

Жүктеу (70KB)
Метадеректер
3. Fig. 2. Airy diffraction patterns created by light from two point sources passing through a circular aperture, such as the pupil of the eye. Points that are far apart (left) or that meet the Rayleigh criterion (center) can be distinguished. Points closer than the Rayleigh criterion (right) are difficult to distinguish

Жүктеу (79KB)
Метадеректер
4. Fig. 3. Automated microscope MA-300

Жүктеу (110KB)
Метадеректер
5. Fig. 4. GUF – high-resolution analytical complex operating in the ultraviolet region of the spectrum (λ = 248 nm)

Жүктеу (110KB)
Метадеректер

© Plebanovich V., Grishkevich V., 2025