Мақаланы E-mail арқылы жіберу AUTOMATIC DEVICE FOR MEASURING RESISTIVITY OF SILICON FOUR-POINT PROBE METHOD
- Авторлар: Vladimirov VM1, Grinin EF1, Sergiy ME1, Shepov VN1
-
Мекемелер:
- Шығарылым: Том 10, № 4 (2009)
- Беттер: 42-45
- Бөлім: Articles
- ##submission.datePublished##: 15.12.2009
- URL: https://journals.eco-vector.com/2712-8970/article/view/508534
- ID: 508534
Дәйексөз келтіру
Толық мәтін
Аннотация
An automatic device for measuring the resistivity of single-crystalline silicon by means of the four-point probe method had been developed.
Негізгі сөздер
Әдебиет тізімі
- ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. М. : Изд-во стандартов, 1990.
Қосымша файлдар
