Отправить статью по E-mail АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬУДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГОКРЕМНИЯ ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ МЕТОДОМ
- Авторы: Владимиров ВМ1, Гринин ЭФ1, Сергий МЕ1, Шепов ВН1
-
Учреждения:
- Выпуск: Том 10, № 4 (2009)
- Страницы: 42-45
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.eco-vector.com/2712-8970/article/view/508534
- ID: 508534
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Разработан автоматизированный измеритель удельного электросопротивления монокристаллического кремния четырехзондовым методом.
Список литературы
- ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. М. : Изд-во стандартов, 1990.
Дополнительные файлы
