ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР ЖЕЛЕЗАНА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХУСЛОВИЯХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ


Цитировать

Полный текст

Аннотация

Представлены результаты исследования топологии поверхности железо-кремниевых структур, полученных при разных температурных условиях, методом атомно-силовой микроскопии.

Список литературы

  1. Миронов, В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В. Л. Миронов. М. : Техносфера, 2005.
  2. Ishizaka, A. / A. Ishizaka, Y . Shiraki / / A. J. Electrochem. Soc.: Electrochemical sciense and Techology. 1986. P . 666-671.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Александрова Г.А., Вайтузин О.П., Березицкая Е.П., Паршин А.С., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., 2009

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Данный сайт использует cookie-файлы

Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.

О куки-файлах