ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР ЖЕЛЕЗАНА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХУСЛОВИЯХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ


Цитировать

Полный текст

Аннотация

Представлены результаты исследования топологии поверхности железо-кремниевых структур, полученных при разных температурных условиях, методом атомно-силовой микроскопии.

Список литературы

  1. Миронов, В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В. Л. Миронов. М. : Техносфера, 2005.
  2. Ishizaka, A. / A. Ishizaka, Y . Shiraki / / A. J. Electrochem. Soc.: Electrochemical sciense and Techology. 1986. P . 666-671.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Александрова Г.А., Вайтузин О.П., Березицкая Е.П., Паршин А.С., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., 2009

Creative Commons License
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International License.