Acoustic microscopy: detecting hidden defects

Capa

Citar

Texto integral

Acesso aberto Acesso aberto
Acesso é fechado Acesso está concedido
Acesso é fechado Acesso é pago ou somente para assinantes

Resumo

The article discusses one of the most effective methods of microelectronic component non-destructive testing – ultrasonic acoustic microscopy, used to detect hidden defects.

Texto integral

Acesso é fechado

Sobre autores

P. Varlamov

Компания «Глобал Микроэлектроника»

Autor responsável pela correspondência
Email: vpi@global-micro.ru

ведущий инженер

Rússia

V. Lelyaev

Компания «Глобал Микроэлектроника»

Email: VL@global-micro.ru

руководитель направления

Rússia

Bibliografia

  1. Халиуллина А.В., Хайрутдинов Б.И. Ультразвук в медицине. Учебное пособие. Казань, 2022. 117 с.
  2. Park S. AcouLab Semiconductor Basic Education 2008.
  3. Бояркин Е.В., Кочетков А.С., Бехер С.А. Физические основы ультразвукового контроля. Руководство по подготовке к экзамену. Учебное пособие. Новосибирск: Издательство СГУПС, 2018. 38 с.
  4. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.В. Микроэлектроника. Физические и технические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. 464 с.

Arquivos suplementares

Arquivos suplementares
Ação
1. JATS XML
Baixar
2. Fig. 1. The results of scanning the microcircuit with an ultrasonic wave: depth slice and 3D reconstruction

Baixar (230KB)
Metadados
3. Fig. 2. The focal area of the converter

Baixar (149KB)
Metadados
4. Fig. 3. The principle of ultrasonic defect detection

Baixar (108KB)
Metadados
5. Fig. 4. SAM Mini scanning acoustic microscope from Acculab company

Baixar (146KB)
Metadados
6. 5. Radiation patterns of ultrasonic waves of various frequencies: a – 500 kHz; b – 1 MHz; c – 2 MHz; d – 5 MHz (transducer diameter 5 mm, wave propagation velocity 1480 m/s)

Baixar (173KB)
Metadados
7. Table

Baixar (741KB)
Metadados

Declaração de direitos autorais © Varlamov P., Lelyaev V., 2024