Email this article Acoustic microscopy: detecting hidden defects
- Authors: Varlamov P.1, Lelyaev V.1
-
Affiliations:
- Компания «Глобал Микроэлектроника»
- Issue: No 10 (2024)
- Pages: 164-167
- Section: Reliability and validation
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/653404
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2024.241.10.164.167
- ID: 653404
Cite item
Open Access
Access granted
Abstract
The article discusses one of the most effective methods of microelectronic component non-destructive testing – ultrasonic acoustic microscopy, used to detect hidden defects.
Full Text
About the authors
P. Varlamov
Компания «Глобал Микроэлектроника»
Author for correspondence.
Email: vpi@global-micro.ru
ведущий инженер
Russian FederationV. Lelyaev
Компания «Глобал Микроэлектроника»
Email: VL@global-micro.ru
руководитель направления
Russian FederationReferences
- Халиуллина А.В., Хайрутдинов Б.И. Ультразвук в медицине. Учебное пособие. Казань, 2022. 117 с.
- Park S. AcouLab Semiconductor Basic Education 2008.
- Бояркин Е.В., Кочетков А.С., Бехер С.А. Физические основы ультразвукового контроля. Руководство по подготовке к экзамену. Учебное пособие. Новосибирск: Издательство СГУПС, 2018. 38 с.
- Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.В. Микроэлектроника. Физические и технические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. 464 с.
Supplementary files
Supplementary Files
Action
1.
JATS XML
2.
Fig. 1. The results of scanning the microcircuit with an ultrasonic wave: depth slice and 3D reconstruction
Download (230KB)
3.
Fig. 2. The focal area of the converter
Download (149KB)
4.
Fig. 3. The principle of ultrasonic defect detection
Download (108KB)
5.
Fig. 4. SAM Mini scanning acoustic microscope from Acculab company
Download (146KB)
6.
5. Radiation patterns of ultrasonic waves of various frequencies: a – 500 kHz; b – 1 MHz; c – 2 MHz; d – 5 MHz (transducer diameter 5 mm, wave propagation velocity 1480 m/s)
Download (173KB)
7.
Table
Download (741KB)
