Отправить статью по E-mail Фотонная эмиссия – инновационный метод анализа дефектов в микроэлектронике
- Авторы: Плебанович В.1, Светенкова В.2, Гришкевич В.2
-
Учреждения:
- ОАО «Планар»
- ОАО «Оптоэлектронные системы»
- Выпуск: № 6 (2025)
- Страницы: 150-152
- Раздел: Надежность и испытания
- URL: https://journals.eco-vector.com/1992-4178/article/view/688740
- DOI: https://doi.org/10.22184/1992-4178.2025.247.6.150.152
- ID: 688740
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Аналитический комплекс «Фотон», разработанный совместно ОАО «Оптоэлектронные системы» и НТЦ «Белмикросистемы», решает проблему выявления скрытых дефектов ИС, таких как структурные дефекты кристаллической решетки, локальные утечки тока и перегрев силовых элементов.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
В. Плебанович
ОАО «Планар»
Автор, ответственный за переписку.
Email: vpleba@planar.by
д.т.н.
Белоруссия, МинскВ. Светенкова
ОАО «Оптоэлектронные системы»
Email: marketing@optes.by
Белоруссия, Минск
В. Гришкевич
ОАО «Оптоэлектронные системы»
Email: marketing@optes.by
Белоруссия, Минск
Дополнительные файлы
