Отправить статью по E-mail АКТИВНЫЙ МЕТАМАТЕРИАЛ НА ОСНОВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ НЭМС-СТРУКТУР
- Авторы: Хартов СВ1
-
Учреждения:
- Выпуск: Том 10, № 4 (2009)
- Страницы: 49-53
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.eco-vector.com/2712-8970/article/view/508542
- ID: 508542
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Рассмотрен метод получения плотно упакованных наноэлектромеханических систем (НЭМС), основанный на оригинальной комбинации процессов самоорганизации и самосовмещения. Обсуждены функциональность НЭМС-структур, возможные области применения наноматериала, образованного двумерным массивом данных структур. Приведены результаты предварительных экспериментов, реализующих предлагаемую НЭМС-технологию.
Список литературы
- Pat. WO02080360. Pattern-aligned carbon nanotube growth and tunable resonator apparatus / B. D. Hunt, F . Noca, M. E. Hoenk, et. al. Publ. 2001.
- Pat. EP1646145. Electromechanical filter and electric circuit and electric apparatus employing it / Ya. Naito, Yo. Nakanishi. Publ. 2004.
- Неволин, В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике / В. К. Неволин. М. : Техносфера, 2006.
- Разработка подходов к массовому производству структур на основе углеродных нанотрубок / И. И. Бобринецкий, М. М. Симунин, С. В. Хартов и др. // Актуальные проблемы твердотельной микроэлектроники : тр. Х Междунар. науч.-техн. конф. / Таганрог. радиотехн. ун - т. Таганрог, 2006. Ч. 2. С. 6-8.
Дополнительные файлы
